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 产品中心 PRODUCT |
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| 单硅(芯)片清洗机 | 
| 项目 |
基本参数 |
| 设备名称 |
单硅(芯)片清洗机 |
| 设备用途 |
主要对处理后的硅芯、硅棒进行清洗、干燥处理； |
| 操作模式 |
PLC编程控制+人机界面+全自动工艺流程(可选手动模式) ； |
| 设备构成 |
设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料、管路部分、海外标准件等构成； |
| 设备参数 |
◎ 全面防腐管理措施，苛刻的工艺保证了设备的密封性和安全性；
◎ 自动化清洗流程或手动清洗；
◎ 的硅片干燥技术，保证硅片表面无水痕；
◎ 主要用于清除废屑，是划片后的重要工序；
◎ 清洗工件：（硅芯7-10mm,长约2-2.8mm）, （硅棒 1根/批,长约2-2.8mm）；
◎ 根据客户定制需求不同，定制的湿法清洗流程方案； |
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