|
|
 |
产品中心 PRODUCT |
当前位置:首页 > 半导体材料设备 |
|
|
| 石英管清洗机 | 
| 项目 |
基本参数 |
| 设备名称 |
石英管清洗机 |
| 设备用途 |
主要用于石英管、石英器皿清洗和干燥; |
| 操作模式 |
PLC编程辑控制+人机界面+全自动/手动模式; |
| 设备构成 |
设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料、管路部分、海外标准件等构成; |
| 设备参数 |
◎ 全面防腐管理措施,苛刻的工艺保证了设备的密封性和安全性;
◎ 主要去除石英表面氧化膜及颗粒物等;
◎ 腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;
◎ 技术,结构合理,自动化程度高,使用成本低;
◎ 限度清洗工件2件,直径390mm,长度2600mm;
◎ 根据客户定制需求不同,定制的湿法清洗流程方案; |
| 上一页:石墨件清洗机 下一页:湿法蚀刻清洗机 |  |
|
|
|
 |
|