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液晶玻璃基板清洗设备


 项目  基本参数
 设备名称  液晶玻璃基板清洗设备
 设备用途  主要用于玻璃基板的化学均匀蚀刻和清洗;
 操作模式  PLC编程辑控制+人机界面+全自动/手动模式;
 设备构成  设备由电气系统、伺服系统、防腐塑料及氟材料、管路部分、海外标准件等构成;
 设备参数  ◎ 全面完善的防腐保护及检漏措施,苛刻的工艺保证了设备的密封性和安全性;
 ◎ 小型槽式清洗流程,清洗后基板表面无水渍、残留污垢;
 ◎ 可定时补充和更换药液,保证清洗和浓度的稳定性、均匀性;
 ◎ 所用工件均为超高纯PTFE/PVDF/PFA/PP/PVC等纯化材质;
 ◎ PLC控制及触摸屏操作界面,方便参数设置及多工艺方式转换;
 ◎ 限度设计供排液管路构架和酸气排放系统、设备护养空间;
 ◎ 根据客户定制需求不同,定制的湿法清洗方案;
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