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蓝宝石衬底清洗工艺
5,清洗间的操作规范
【目的】规范清洗间作业事项便于安全生产
【操作前的心理准备】
操作前一定要先确定个人情绪是否稳定、精神状态是否良好。如有异常,应立即向负责人报告,进行调整。
【安全操作规范】
(1)操作前,一定要检查工作台通风是否良好,如有异常,向上级汇报或向动力保障部门说明情况,请求调整;
(2)在通风橱里开启药品,并一定要戴上口罩、塑胶手套和防酸手套;
(3)试剂开启前,都必须将外面的塑料袋、橡皮筋取下并扔进垃圾桶;
(4)拧开药品盖后,取下瓶口的塑封膜并扔进垃圾桶,在倾倒药品时,一定要确定塑封膜是否在瓶上;
(5)药品使用完后,必须把瓶盖拧紧并放到安全处;
(6)工作台前的外窗门,在使用时和使用后,均应拉下封闭,防止试剂污染晶片和超净间,危害员工健康;
(7)废液回收时一定要两人同时在场;
(8)有机废液和无机废液要回收严格分开,放入不同密封箱里;
(9)丙酮、异丙醇和去胶液的温度已经固定,不得随意更改。如确有需要,向领班汇报,等待上级批准;
(10)硫酸和双氧水混合溶液一定要等到冷却到30°C以下才能回收。
(11)溶液配制或回收时,溅到操作台上的溶液一定要用水冲干净,再用氮气抢吹干,保持工作台的清洁、干净。
【注意事项】
(1)当有酸性或强腐蚀性溶液(硫酸、双氧水)不小心溅到皮肤上时,应立即用无尘布(或无尘纸)轻轻擦掉。然后用清水冲洗。
(2)当吸入过量有机物(丙酮、异丙醇),感到头晕、恶心时。一定要向班报告,情形严重的立即就医。

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