[3] 甩干机
【用途】对清洗干净后的蓝宝石样品进行旋转吹干处理。
【操作流程】基本工艺流程如下：

【注意事项】
(1) 设备运行时，腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低；
(2)晶片必须均匀放置在卡塞内，尽量保证首尾重力平衡；
(3)卡塞放置在腔体内时，片子正面应朝向观察窗一侧；
(4)设备运行中不得试图打开密封门盖，否则会造成人体伤害或机器损坏；
(5)关机重启后，时间间隔1分钟以上，否则可能会造成电气损坏；
(6)设备运行中，注意去离子水流量不得超过允许值，否则可能由于排放受阻而造成机器损坏；
(7)每次运行完毕后取出片子时，注意卡塞口是否朝上，纠正后再取出，否则片子会掉出来；
(8)一旦发现水路的关联件出现“漏水”、“滴水”现象应立即关机，检修后再运行
[4] 烧杯、花篮、样品盒
【用途】清洗蓝宝石衬底的辅助工具
【注意事项】
(1)每天需要在使用超声波的前提下，依次用丙酮、异丙醇、DI水清洗烧杯和花篮，各5 min;
(2)样品盒均需依次用异丙醇、DI水超声清洗，各10 min，然后用氮气抢吹干；
[5] DI水电阻监测计
【用途】监测DI水的纯度