涂胶成膜过程中各种案例分析

1.表面出现气泡

滴胶时，胶液中混有气泡

喷嘴有问题或者喷嘴不规整

2.放射状条纹

胶液喷射速度过高，设备排气速度过高

滴胶过后静止时间过长

匀胶转速或者加速度设置过高

基片前处理不到位有颗粒残留或者胶液中有颗粒

3.中心漩涡图案

设备排气速度过高

滴胶时偏离衬底中心

匀胶旋涂时间过长

4.中心元晕

不适合的托盘

滴胶喷嘴偏离基片中心

5.胶液未涂满衬底

胶液量不足

匀胶旋涂速度过低或过高

6.针孔

胶液中存在颗粒或者气泡

基片衬底前处理不彻底表面存在颗粒